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TECHNICAL ARTICLES晶圓表面分析檢測測量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)
晶圓表面分析檢測測量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)詳情:
晶圓表面分析檢測測量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)適用于半導體晶圓(Wafer)工藝的質量控制。該視頻成像(VCA-Wafer) 晶圓表面分析檢測測量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)提供晶圓(Wafers)表面的快速并準確的接觸角/表面能分析,從而評估粘性,潔凈度及鍍膜。
晶圓表面分析檢測測量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)采用輕量化的設計、組裝方便的基于Windows™標準的用戶友好型軟件,以創(chuàng)建一個即容又容易使用的接觸角測量儀系統(tǒng)。
視頻成像(VCA-Wafer) 晶圓表面分析檢測測量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)的注射滴液機制可以抬起便于裝載,消除了對晶圓(Wafers)可能產(chǎn)生的損壞。視頻成像(VCA-Wafer) 晶圓表面分析檢測測量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)用于晶圓表面分析,同時也可用于其它需要測量較大體積樣件的分析應用。樣件大可允許 300 X 300 X 19mm。
晶圓表面分析檢測測量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)應用 (包括但不限于):
• HMDS工藝的表面涂覆評估;
• 表面污染物檢測;
• 膠液&底漆制備;
• 涂覆均勻性檢測;
• 涂覆質量評估;
• 表面清潔度檢測;
• 研究粘附性、潤濕特性、粘接質量、表面處理和纖維、織物、聚合物、半導體晶片、硬盤、 平板顯示器和生物材料等表面涂層。
• 吸收研究。
晶圓表面分析檢測測量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)采用了高精度攝像鏡頭和先進的PC技術捕捉滴液的靜態(tài)或動態(tài)圖像,并確定用于觸角測量的基礎切線。手動或自動注射器提供測試液體的簡易滴膠方式。 電腦化操作消除了人為錯誤的畫線并能捕捉動態(tài)圖像對時間敏感的分析。存儲在計算機中的數(shù)據(jù)和圖像用于后面的分析,并且容易轉移到其他應用軟件上。
視頻成像(VCA-Wafer) 晶圓表面分析檢測測量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)主要技術規(guī)格:
● 基本系統(tǒng):視頻成像(VCA-Wafer) 晶圓表面分析檢測測量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)是一款手動操作的接觸角測量儀系統(tǒng),可測量晶圓片(Wafers)大尺寸為300mm。動態(tài)圖像捕捉速率為60幀/秒,視頻成像(VCA-Wafer) 晶圓表面分析檢測測量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)除了具備表面能分析功能以外,該系統(tǒng)還能實現(xiàn)滴液表面張力的分析。該接觸角測量儀系統(tǒng)配備電動、可編程注射滴膠系統(tǒng)。視頻成像(VCA-Wafer) 晶圓表面分析檢測測量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)也可在超凈間操作使用。
• 高分辨率攝像系統(tǒng),放大透鏡,高密度LED光源用于精密圖像捕捉
• 300mm可旋轉工作平臺,允許檢測晶圓各個方位
• 高配PC控制系統(tǒng),配備高性能顯卡,用于圖像分析及視頻捕捉
• 高清平板顯示器,用于圖像輸出顯示
● 視頻成像(VCA-Wafer) 晶圓表面分析檢測測量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)軟件基本功能特性:
• 接觸角成像及計算的自動化
• 動態(tài)滴液捕捉(以錄像方式觀看滴液)
• 表面能(達因/厘米)分析功能
• 統(tǒng)計過程控制
• 懸滴法表面分析功能
●表面能(達因/厘米)軟件包:基于同樣基片上不同液體的接觸角,計算基片的表面能(達因/厘米), 列表出同一基片上不同液體的接觸角。并且用四中用戶可選的方法之一來自動計算表面能,即齊斯曼法(Zisman)、幾何平均數(shù)法(Geometric Mean,), 調和平均數(shù)法(Harmonic Mean,),酸堿法(Acid-Base)。
● 圖像分析工作站(IAW):專門配備PC格式化用于圖像分析。
● 軟件:
-> 基于Windows操作系統(tǒng)方便使用,增強的多功能性和易與其他程序接口;
-> 時間間隔的圖像捕捉能力提供圖像捕捉及分析,基于用戶定義的時間事件分析間隔;
-> 多個圖像同時瀏覽功能;
-> 圖像滾動&堆碼能力;
-> 高速圖像捕捉可達60個圖像/秒。
● 成像軟件:自動灰度分析成像系統(tǒng)捕捉實際液滴圖像和自動計算接觸角,而無需人工干預。 接觸角切線和電腦生成的水滴形曲線 擬合同時顯示在視頻圖像上,便于用戶查看及分析。
● 滴液表面張力分析)軟件:采取垂滴圖像分析方法,通過視頻影像數(shù)字化和數(shù)字 曲線擬合,采用毛細拉普拉斯方程確定表面張力(或界面張力)。
● 微量注射器-三套
● 微量注射器針頭-五套
● SPC(統(tǒng)計過程控制)軟件:在一個易于使用的圖表中自動記錄接觸角、液滴的高度,寬度,體積和面積。 即時顯示統(tǒng)計值平均值和標準偏差,作為數(shù)據(jù)輸入。所有的數(shù)據(jù)都可被打印, 保存和/或轉出進一步分析或成像在其他 軟件程序之中。
● 軟件:瀏覽接觸角度、寬度和高度,潤濕面積和體積的彩色圖表。數(shù)據(jù)和圖表可以存儲、打印和編輯。
● 電動注射器組件:電腦控制自動滴液分配系統(tǒng),用于標準注射器。提供可重復用戶定義液體體積分配。
●視頻成像(VCA-Wafer) 晶圓表面分析檢測測量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)晶圓(Wafer)樣件工作平臺:
-> 圓形樣件平臺尺寸:直徑12英寸(304.80毫米);
-> 可接納檢測晶圓片尺寸:4英寸、6英寸、8英寸及12英寸;
-> 光軸移動:6英寸手動滑動卡鎖;
-> 垂直于光軸運動:6英寸撥動;
-> 垂直移動距離:2英寸波動;
-> 工作平臺旋轉角度:360度旋轉,行星軸承支持手動旋轉;
● 校準網(wǎng)格
● 顯示器
● 電源220VAC
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